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具有低电流集边效应的金属/氮化镓铝/氮化镓横向肖特基二极管及其制备方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: cn101179098, 申请日期: 2008-01-01, 公开日期: 2009-11-10, 2009-11-10
发明人:  陈家荣;  王玉琦;  陈文锦;  邱凯;  李新化
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磁场辅助等离子体增强化学气相沉积 期刊论文
真空, 2007, 卷号: 044
作者:  陈家荣;  陈文锦;  邱凯;  马文霞
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PECVD  氮化硅  磁场  沉积速率  折射率  表面形貌