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中国科学院合肥物质科学研究院机构知识库
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磁场辅助等离子体增强化学气相沉积
期刊论文
真空, 2007, 卷号: 044
作者:
陈家荣
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陈文锦
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邱凯
;
马文霞
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提交时间：2020/10/26
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