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电感耦合等离子体（ICP）辅助射频磁控溅射沉积ZrN薄膜的结构和性能研究 期刊论文
真空科学与技术学报, 2007, 期号: 6
作者:  刘峰;  孟月东;  任兆杏;  沈克明;  舒兴胜
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Atomic-Oxygen Beam Source with Compact ECR Plasma 期刊论文
等离子体科学和技术：英文版, 2002, 卷号: 004
作者:  Ren Zhaoxing;  Shen Keming;  Lu Qingao
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原子氧  等离子体源  等离子体束  ECR  电子回旋加速器  产生  稳定性