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全固态高压脉冲电源在半导体光刻光源中的应用 期刊论文
强激光与粒子束, 2019, 卷号: 031
作者:  游利兵;  程超;  方晓东
收藏  |  浏览/下载：46/0  |  提交时间：2020/11/23
全固态高压脉冲电源  半导体光刻  准分子激光  磁开关  闸流管  
新型光刻技术研究进展 期刊论文
激光技术, 2019, 卷号: 043
作者:  何立文;  罗乐;  孟钢;  邵景珍;  方晓东
收藏  |  浏览/下载：32/0  |  提交时间：2020/10/26
激光技术  光学制造  新型光刻技术  无掩模光刻  掩模光刻  微纳结构  
应用于极紫外光刻系统多层膜的研究进展 期刊论文
量子电子学报, 2014, 卷号: 31
作者:  秦娟娟;  董伟伟;  周曙;  游利兵;  方晓东
收藏  |  浏览/下载：60/0  |  提交时间：2020/11/23
激光技术  极紫外光刻  极紫外多层膜  沉积方法  
准分子激光技术发展（邀请论文） 期刊论文
中国激光, 2010, 卷号: 000
作者:  余吟山;  游利兵;  梁勖;  方晓东
收藏  |  浏览/下载：45/0  |  提交时间：2020/11/23
激光器  准分子激光技术  放电激励  光刻  
近期光刻用ArF准分子激光技术发展 期刊论文
量子电子学报, 2010, 卷号: 27, 期号: 5
作者:  游利兵;  周翊;  梁勖;  余吟山;  方晓东;  王宇
Adobe PDF(485Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：348/149  |  提交时间：2011/12/07
激光技术  ArF准分子激光  光刻  双图形