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| 准分子激光线形光束晶化非晶硅薄膜 期刊论文
量子电子学报, 2019, 卷号: 036
作者: 尹广玥; 游利兵 ; 陈星; 邵景珍; 陈亮; 王庆胜; 方晓东
  收藏 | 浏览/下载：57/0 | 提交时间：2020/11/25
薄膜 多晶硅 准分子激光退火 能量密度 搭接率 线形光束 |
| 用于低温多晶硅制备的线光束整形系统 期刊论文
中国激光, 2017, 卷号: 44
作者: 尹广玥; 游利兵; 王庆胜; 褚状状; 陈亮; 方晓东
收藏 | 浏览/下载：69/0 | 提交时间：2020/11/23
激光技术 线光束整形 光束均匀性 准分子激光退火 低温多晶硅制备 |
| 掺Sn对定向凝固多晶硅位错及少子寿命的影响 期刊论文
人工晶体学报, 2016, 卷号: 45
作者: 何秋湘; 李京伟; 孙继飞; 白枭龙; 熊震; 陈健
收藏 | 浏览/下载：51/0 | 提交时间：2020/11/25
位错 少子寿命 多晶硅 定向凝固 |
| 用于平板显示 LTPS制备的 ELA光束整形系统 期刊论文
激光技术, 2016, 卷号: 040
作者: 尹广玥; 游利兵; 方晓东
收藏 | 浏览/下载：57/0 | 提交时间：2020/11/25
激光技术 平板显示 准分子激光退火 低温多晶硅 光束整形 匀光 |
| 非晶硅薄膜的准分子激光晶化研究 期刊论文
红外与激光工程, 2015, 卷号: 044
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收藏 | 浏览/下载：27/0 | 提交时间：2020/10/26
准分子激光退火 非晶硅薄膜 多晶硅 能量密度 脉冲次数 |
| 冶金法提纯太阳能级硅的原理、工艺和新进展 期刊论文
材料导报, 2013, 卷号: 027
作者: 李彦磊; 陈健; 戴松元
收藏 | 浏览/下载：106/0 | 提交时间：2020/11/25
太阳能级硅 冶金法 提纯 多晶硅 |
| 微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积法制备多晶硅薄膜 期刊论文
核聚变与等离子体物理, 2012, 卷号: 032
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收藏 | 浏览/下载：27/0 | 提交时间：2020/10/26
电子回旋共振等离子体增强型化学气相沉积 低温 直接制备 多晶硅薄膜 |
