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硅微机械二维倾角传感器结构设计 期刊论文
微细加工技术, 2007, 卷号: 000
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倾角传感器  压敏电阻  微机械  有限元  
新型真空微电子氢气传感器 期刊论文
仪表技术与传感器, 2002, 卷号: 000, 期号: 3
作者:  焦正;  李民强;  刘锦淮
Adobe PDF(88Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：360/135  |  提交时间：2009/10/19
气体传感器  真空微电子  微机械加工  氢气传感器