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准分子激光微加工应用研究进展 期刊论文
量子电子学报, 2018, 卷号: 035
作者:  何立文;  方晓东
收藏  |  浏览/下载：47/0  |  提交时间：2020/11/25
激光技术  准分子激光微加工  集成芯片3D封装  微机电系统材料微加工  
基于AFM探针的电晕放电研究 期刊论文
传感器与微系统, 2011, 卷号: 030
作者:  赵贵;  孔德义;  Juergen Brugger;  陈池来;  程玉鹏;  李庄
收藏  |  浏览/下载：33/0  |  提交时间：2020/10/26
原子力显微镜探针  电晕放电  微机电系统  ANSYS  非接触式采样  
双向横向热执行器结构设计 期刊论文
微细加工技术, 2007, 卷号: 000
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收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2020/10/26
横向热执行器  微机电系统  有限元