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厚膜电容微位移传感器的非线性误差分析 期刊论文
仪表技术与传感器, 2009, 卷号: 000
作者:  张早春;  马以武;  高理升
收藏  |  浏览/下载:43/0  |  提交时间:2020/11/25
电容  位移检测  挠性形变