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基于Au辅助化学刻蚀法实现低成本制备硅纳米线阵列
期刊论文
半导体光电, 2015, 卷号: 36
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提交时间：2020/10/26
Au膜
金属辅助化学刻蚀
Si纳米线
浸润层
低成本
