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激光诱导化学气相沉积法制备纳米氮化硅及粉体光谱特性研究 期刊论文
硅酸盐通报, 2004, 卷号: 023, 期号: 3
作者:  王锐;  李道火;  黄永攀;  罗丽明;  浦坦
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激光诱导  化学气相沉积法  制备  纳米氮化硅  光谱特性  陶瓷材料  Si3N4  双光束激发