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激光诱导化学气相沉积法制备纳米a—Si3N4粉体及粉体光谱特性的研究 期刊论文
应用激光, 2004, 卷号: 024
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收藏  |  浏览/下载：33/0  |  提交时间：2020/10/26
粉体  游离硅  制备  Si3N4  纳米  高纯度  反应装置  化学气相沉积法  红外吸收光谱  激光诱导