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| 氮化硅钝化膜的制备和应用 期刊论文
量子电子学报, 2005, 卷号: 022
作者: 陈俊芳; 吴先球; 樊双利; 王鑫; 任兆杏
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光电子学 ECR—PECVD 氮化硅钝化膜 芯片 |
| 射频偏置ECR-PECVD等离子体参数测量 期刊论文
核聚变与等离子体物理, 2004, 卷号: 024
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射频偏置 ECR-PECVD 双探针 电子温度 等离子体密度 微波功率 磁场电流 |
| 等离子体离子能量自动分析器的研制和应用 期刊论文
电子学报, 2003, 卷号: 031
作者: 吴先球; 陈俊芳; 蒋珍美; 熊予莹; 吴开华; 任兆杏
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离子能量分布 器件损伤 自动能量分析器 ECR－PECVD |
| ECR—PECVD制备氮化硅薄膜的键态结构 期刊论文
功能材料, 2003, 卷号: 034
作者: 吴先球; 陈俊芳; 熊予莹; 吴开华; 仁兆杏
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ECR－PECVD 制备 氮化硅薄膜 键态结构 |
| 等离子体油射石英晶体表面成膜实现液体黏度测量的研究 期刊论文
仪表技术与传感器, 2002, 卷号: 000
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ECR等离子体 石英晶体 频率偏离 液体黏度测量 |
| Atomic-Oxygen Beam Source with Compact ECR Plasma 期刊论文
等离子体科学和技术：英文版, 2002, 卷号: 004
作者: Ren Zhaoxing; Shen Keming; Lu Qingao
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原子氧 等离子体源 等离子体束 ECR 电子回旋加速器 产生 稳定性 |
