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磁场辅助等离子体增强化学气相沉积 期刊论文
真空, 2007, 卷号: 044
作者:  陈家荣;  陈文锦;  邱凯;  马文霞
收藏  |  浏览/下载：30/0  |  提交时间：2020/10/26
PECVD  氮化硅  磁场  沉积速率  折射率  表面形貌  
氮化硅钝化膜的制备和应用 期刊论文
量子电子学报, 2005, 卷号: 022
作者:  陈俊芳;  吴先球;  樊双利;  王鑫;  任兆杏
收藏  |  浏览/下载：56/0  |  提交时间：2020/11/25
光电子学  ECR—PECVD  氮化硅钝化膜  芯片  
射频偏置ECR-PECVD等离子体参数测量 期刊论文
核聚变与等离子体物理, 2004, 卷号: 024
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收藏  |  浏览/下载：38/0  |  提交时间：2020/10/26
射频偏置  ECR-PECVD  双探针  电子温度  等离子体密度  微波功率  磁场电流  
等离子体离子能量自动分析器的研制和应用 期刊论文
电子学报, 2003, 卷号: 031
作者:  吴先球;  陈俊芳;  蒋珍美;  熊予莹;  吴开华;  任兆杏
收藏  |  浏览/下载：37/0  |  提交时间：2020/10/26
离子能量分布  器件损伤  自动能量分析器  ECR－PECVD  
ECR—PECVD制备氮化硅薄膜的键态结构 期刊论文
功能材料, 2003, 卷号: 034
作者:  吴先球;  陈俊芳;  熊予莹;  吴开华;  仁兆杏
收藏  |  浏览/下载：38/0  |  提交时间：2020/11/25
ECR－PECVD  制备  氮化硅薄膜  键态结构