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在镍基板上低温生长纳米碳管膜 期刊论文
真空与低温, 2003, 卷号: 009
作者:  王升高;  汪建华;  张保华;  马志斌;  王传新;  满卫东
收藏  |  浏览/下载：51/0  |  提交时间：2020/11/25
镍基板  低温生长  纳米碳管膜  微波等离子体化学气相沉积法  刻蚀  
中性束束流沿束线损失分析与沉积 期刊论文
真空与低温, 2003, 卷号: 009, 期号: 3
作者:  贺会权;  胡立群;  胡纯栋;  龚建华
Adobe PDF(141Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：319/97  |  提交时间：2009/12/15
中性束  中性注入系统  损失  可控核聚变  等离子体  托卡马克装置  磁场  
大面积平面表面波等离子体的研究 期刊论文
真空与低温, 2002, 卷号: 008
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收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2020/10/26
表面波  等离子体源  高密度等离子体  设计  耦合天线  角向电子密度  温度均匀性