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用于中性束注入器的4．2K液氦低温冷凝泵的设计 期刊论文
真空科学与技术, 2003, 卷号: 023
作者:  陈长琦;  谢远来;  王娟;  欧阳峥嵘;  胡纯栋
收藏  |  浏览/下载：45/0  |  提交时间：2020/11/23
液氦  真空系统  中性束注入器  低温冷凝泵  等离子体  
射频ICP离子源设计研究 期刊论文
真空科学与技术, 2002, 卷号: 022
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收藏  |  浏览/下载：31/0  |  提交时间：2020/10/26
射频ICP  离子源  设计  射频匹配网络  感应耦合等离子体  离子流  均匀性  中性化  
容性耦合射频（CCRF）放电等离子体特性实验研究 期刊论文
真空科学与技术, 2002, 卷号: 022
作者:  Teuner D;  黄建军;  刘正之;  梁荣庆
收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2020/10/26
容性耦合射频放电  等离子体  实验研究  等效电路模型  放电特性