中文版 | English

在结果中检索

HFCAS OpenIR
（本次检索基于用户作品认领结果）

浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助

限定条件                
已选(0)清除 条数/页：   排序方式：
应用于极紫外光刻系统多层膜的研究进展 期刊论文
量子电子学报, 2014, 卷号: 31
作者:  秦娟娟;  董伟伟;  周曙;  游利兵;  方晓东
收藏  |  浏览/下载：62/0  |  提交时间：2020/11/23
激光技术  极紫外光刻  极紫外多层膜  沉积方法