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Annealing-induced evolution in interface stability and electrical performance of sputtering-driven rare-earth-based gate oxides 期刊论文
JOURNAL OF ALLOYS AND COMPOUNDS, 2019, 卷号: 778, 期号: 无, 页码: 579-587
作者:  Wang, Die;  He, Gang;  Liang, Shuang;  Liu, Mao
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Dy2O3 gate dielectrics  High-k  Annealing temperature  Optical properties  Electrical characteristics