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Deposition of large area uniform diamond films by microwave plasma CVD 期刊论文
VACUUM, 2018, 卷号: 147, 页码: 134-142
作者:  Weng, J.;  Liu, F.;  Xiong, L. W.;  Wang, J. H.;  Sun, Q.
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Large area diamond film  High microwave power  Uniformity  Microwave plasma  Chemical vapor deposition