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中国科学院合肥物质科学研究院机构知识库
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研究单元&专题
中科院固体物理研究所 [9]
作者
刘毛 [9]
高建 [5]
张民 [3]
发表日期
2017 [4]
2016 [5]
语种
英语 [9]
出处
JOURNAL OF... [6]
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Interface chemistry and electronic structure of ALD-derived HfAlO/Ge gate stacks revealed by X-ray photoelectron spectroscopy
期刊论文
JOURNAL OF ALLOYS AND COMPOUNDS, 2017, 卷号: 716, 期号: 无, 页码: 1-6
作者:
He, Gang
;
Jiang, Shanshan
;
Li, Wendong
;
Zheng, Changyong
;
He, Huaxin
;
Li, Jing
;
Sun, Zhaoqi
;
Liu, Yanmei
;
Liu, Mao
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提交时间:2018/05/25
High-k Gate Dielectric
Atomic-layer-deposition
Interface Stability
Phase Separation
Annealing Temperature
Annealing temperature-dependent microstructure and optical and electrical properties of solution-derived Gd-doped ZrO2 high-k gate dielectrics
期刊论文
JOURNAL OF SOL-GEL SCIENCE AND TECHNOLOGY, 2017, 卷号: 83, 期号: 3, 页码: 675-682
作者:
Zhu, L.
;
He, G.
;
Sun, Z. Q.
;
Liu, M.
;
Jiang, S. S.
;
Liang, S.
;
Li, W. D.
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提交时间:2018/08/16
Gd-doped Zro2 Gate Dielectric Thin Films
Annealing Temperature
Sol-gel
Optical Properties
Electrical Properties
Interfacial modulation and electrical properties improvement of solution-processed ZrO2 gate dielectrics upon Gd incorporation
期刊论文
JOURNAL OF ALLOYS AND COMPOUNDS, 2017, 卷号: 699, 期号: 无, 页码: 415-420
作者:
Xiao, D. Q.
;
He, G.
;
Lv, J. G.
;
Wang, P. H.
;
Liu, M.
;
Gao, J.
;
Jin, P.
;
Jiang, S. S.
;
Li, W. D.
;
Sun, Z. Q.
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提交时间:2018/07/04
High-k Gate Dielectrics
Gd Incorporation
Xps
Electrical Properties
Sol-gel
Annealing-temperature-modulated optical, electrical properties, and leakage current transport mechanism of sol-gel-processed high-k HfAlOX gate dielectrics
期刊论文
CERAMICS INTERNATIONAL, 2017, 卷号: 43, 期号: 3, 页码: 3101-3106
作者:
Jin, P.
;
He, G.
;
Fang, Z. B.
;
Liu, M.
;
Xiao, D. Q.
;
Gao, J.
;
Jiang, S. S.
;
Li, W. D.
;
Sun, Z. Q.
;
Zhang, M.
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提交时间:2018/07/04
High-k Hfalox Gate Dielectrics
Sol-gel
Optical Properties
Electrical Properties
Leakage Current Transport Mechanism
Modification of optical and electrical properties of sol-gel-derived TiO2-doped ZrO2 gate dielectrics by annealing temperature
期刊论文
JOURNAL OF ALLOYS AND COMPOUNDS, 2016, 卷号: 688, 期号: 无, 页码: 252-259
作者:
Xiao, D. Q.
;
He, G.
;
Liu, M.
;
Gao, J.
;
Jin, P.
;
Jiang, S. S.
;
Li, W. D.
;
Zhang, M.
;
Liu, Y. M.
;
Lv, J. G.
;
Sun, Z. Q.
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提交时间:2017/10/18
High-k Gate Dielectrics
Optical Constant
Electrical Properties
Ti incorporaTion
Sol-gel
Conduction Mechanisms
Baking-temperature-modulated optical and electrical properties of HfTiOx gate dielectrics via sol-gel method
期刊论文
JOURNAL OF ALLOYS AND COMPOUNDS, 2016, 卷号: 688, 期号: 无, 页码: 925-932
作者:
Jin, P.
;
He, G.
;
Wang, P. H.
;
Liu, M.
;
Xiao, D. Q.
;
Gao, J.
;
Chen, H. S.
;
Chen, X. S.
;
Sun, Z. Q.
;
Zhang, M.
;
Lv, J. G.
;
Liu, Y. M.
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提交时间:2017/09/11
High-k Gate Dielectrics
Hftiox Thin Films
Sol-gel Processing
Optical Properties
Electrical Properties
Modification of electrical properties and carrier transportation mechanism of ALD-derived HfO2/Si gate stacks by Al2O3 incorporation
期刊论文
JOURNAL OF ALLOYS AND COMPOUNDS, 2016, 卷号: 667, 期号: 无, 页码: 352-358
作者:
Gao, Juan
;
He, Gang
;
Sun, Zhaoqi
;
Chen, Hanshuang
;
Zheng, Changyong
;
Jin, Peng
;
Xiao, Dongqi
;
Liu, Mao
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提交时间:2017/10/18
High-k Gate Dielectric
Atomic-layer-deposition
Electrical Properties
Carrier Transportation Mechanism
Incorporation
Microstructure, optical, electrical properties, and leakage current transport mechanism of sol-gel-processed high-k HfO2 gate dielectrics
期刊论文
CERAMICS INTERNATIONAL, 2016, 卷号: 42, 期号: 6, 页码: 6761-6769
作者:
Jin, Peng
;
He, Gang
;
Xiao, Dongqi
;
Gao, Juan
;
Liu, Mao
;
Lv, Jianguo
;
Liu, Yanmei
;
Zhang, Miao
;
Wang, Peihong
;
Sun, Zhaoqi
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提交时间:2017/10/18
High-k Gate Dielectrics
Sol-gel
Electrical Properties
Leakage Current Transport Mechanism
Optical Properties
Microstructure, wettability, optical and electrical properties of HfO2 thin films: Effect of oxygen partial pressure
期刊论文
JOURNAL OF ALLOYS AND COMPOUNDS, 2016, 卷号: 662, 期号: 无, 页码: 339-347
作者:
Gao, J.
;
He, G.
;
Deng, B.
;
Xiao, D. Q.
;
Liu, M.
;
Jin, P.
;
Zheng, C. Y.
;
Sun, Z. Q.
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提交时间:2017/10/18
Hfo2 Thin Films
Rf Sputtering
Optical Properties
Band Gap
Wettability