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Microstructure, optical, electrical properties, and leakage current transport mechanism of sol-gel-processed high-k HfO2 gate dielectrics 期刊论文
CERAMICS INTERNATIONAL, 2016, 卷号: 42, 期号: 6, 页码: 6761-6769
作者:  Jin, Peng;  He, Gang;  Xiao, Dongqi;  Gao, Juan;  Liu, Mao;  Lv, Jianguo;  Liu, Yanmei;  Zhang, Miao;  Wang, Peihong;  Sun, Zhaoqi
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High-k Gate Dielectrics  Sol-gel  Electrical Properties  Leakage Current Transport Mechanism  Optical Properties