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Annealing Temperature Dependent Electrical Properties and Leakage Current Transport Mechanisms in Atomic Layer Deposition-Derived Al2O3-Incorporated HfO2/Si Gate Stack 期刊论文
JOURNAL OF NANOSCIENCE AND NANOTECHNOLOGY, 2016, 卷号: 16, 期号: 8, 页码: 8075-8082
作者:  Gao, Juan;  He, Gang;  Zhang, Jiwen;  Chen, Xuefei;  Jin, Peng;  Xiao, Dongqi;  Liu, Mao;  Ma, Rui;  Sun, Zhaoqi
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High-k Gate Dielectric  Atomic Layer Deposition  Electrical Properties  Leakage Current Mechanism