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Use of model-based library in critical dimension measurement by CD-SEM 期刊论文
MEASUREMENT, 2018, 卷号: 123, 期号: 无, 页码: 150-162
作者:  Zou, Y. B.;  Khan, M. S. S.;  Li, H. M.;  Li, Y. G.;  Li, W.;  Gao, S. T.;  Liu, L. S.;  Ding, Z. J.
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Model-based library  Critical dimension  Secondary electron  CD-SEM  Monte Carlo simulation