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厚膜压阻式三轴向加速度传感器 专利
专利类型: 实用新型, 专利号: cn2404125, 申请日期: 2000-01-01, 公开日期: 2009-10-30
发明人:  戈瑜;  倪礼宾;  马军;  王英先;  申飞;  虞承端;  吴仲诚
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