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Investigation of TiN film on an RF ceramic window by atomic layer deposition 期刊论文
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A, 2020, 卷号: 38
作者:  Peng, Zhen;  Chen, Gen;  Zhao, Yan-Ping;  Zhang, Xin;  Song, Yun-Tao;  Shirkov, Grigori;  Karamysheva, Galina;  Karamyshev, Oleg;  Calabretta, Luciano;  Caruso, Antonio
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